Silicon Anodization as a Structuring Technique Literature Review, Modeling and Experiments
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Sprache:Englisch
54,99 €
inkl. gesetzl. MwSt.Beschreibung
Produktdetails
Format
Kopierschutz
Nein
Family Sharing
Nein
Text-to-Speech
Nein
Erscheinungsdatum
10.09.2017
Verlag
Springer Fachmedien WiesbadenSeitenzahl
316 (Printausgabe)
Dateigröße
10815 KB
Auflage
1st ed. 2018
Sprache
Englisch
EAN
9783658192389
Alexey Ivanov investigates the application of a silicon anodization process as a three-dimensional structuring technique, where silicon is transformed into porous silicon as a sacrificial layer or directly dissolved in electropolishing regime. The work contains a detailed state of the art, experimental studies and modeling of the process for basic shape controlling techniques. Limitations of the developed FEM model with secondary current distribution are discussed.
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