Silicon Anodization as a Structuring Technique Literature Review, Modeling and Experiments
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Sprache:Englisch
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Beschreibung
Produktdetails
Einband
Taschenbuch
Erscheinungsdatum
22.09.2017
Abbildungen
XXIX, 316 p. 141 illus., 3 illus. in color.
Verlag
Springer Fachmedien Wiesbaden GmbHSeitenzahl
316
Maße (L/B/H)
21/14,8/1,9 cm
Gewicht
451 g
Auflage
1st ed. 2018
Sprache
Englisch
ISBN
978-3-658-19237-2
Alexey Ivanov investigates the application of a silicon anodization process as a three-dimensional structuring technique, where silicon is transformed into porous silicon as a sacrificial layer or directly dissolved in electropolishing regime. The work contains a detailed state of the art, experimental studies and modeling of the process for basic shape controlling techniques. Limitations of the developed FEM model with secondary current distribution are discussed.
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