Technologien der Mikrosysteme Materialien, Prozesse und Herstellung halbleiterbasierter Systeme
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Beschreibung
Produktdetails
Einband
Taschenbuch
Erscheinungsdatum
13.11.2026
Abbildungen
XIII, 260 S. 268 Abb., 47 Abb. in Farbe.
Verlag
Springer Fachmedien Wiesbaden GmbHSeitenzahl
260
Maße (L/B)
24/16,8 cm
Auflage
2., aktualisierte Auflage 2026
Sprache
Deutsch
ISBN
978-3-658-52856-0
Dieses Buch vermittelt einen umfassenden Überblick über die Technologien der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik – von Werkstoffen und Fertigungsprozessen über die Herstellung von MEMS und integrierten Schaltkreisen bis hin zu Mikrosensoren und Aktoren. Es richtet sich an Studierende, Ingenieure und Forschende und verbindet physikalische Grundlagen mit modernen industriellen Anwendungen.
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