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Design for Manufacturability with Advanced Lithography

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Beschreibung

This book introduces readers to the most advanced research results on Design for Manufacturability (DFM) with multiple patterning lithography (MPL) and electron beam lithography (EBL). The authors describe in detail a set of algorithms/methodologies to resolve issues in modern design for manufacturability...

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This book introduces readers to the most advanced research results on Design for Manufacturability (DFM) with multiple patterning lithography (MPL) and electron beam lithography (EBL). The authors describe in detail a set of algorithms/methodologies to resolve issues in modern design for manufacturability problems with advanced lithography. Unlike books that discuss DFM from the product level or physical manufacturing level, this book describes DFM solutions from a circuit design level, such that most of the critical problems can be formulated and solved through combinatorial algorithms.

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Erscheinungsdatum

28.10.2015

Verlag Springer
Seitenzahl

164 (Printausgabe)

Dateigröße

5621 KB

Auflage

1st ed. 2016

Sprache

Englisch

EAN

9783319203850

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