Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials
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Sprache:Englisch
317,90 €
inkl. gesetzl. MwSt.Beschreibung
Produktdetails
Format
Kopierschutz
Nein
Family Sharing
Nein
Text-to-Speech
Nein
Erscheinungsdatum
06.12.2012
Herausgeber
O. Auciello + weitereVerlag
Springer NetherlandsSeitenzahl
558 (Printausgabe)
Dateigröße
49318 KB
Sprache
Englisch
EAN
9789400919464
The subjects dealt with in the book include: the physics and chemistry of plasmas, plasma diagnostics, physical sputtering and chemical etching, plasma assisted deposition of thin films, ion and electron bombardment, and plasma processing of inorganic and polymeric materials.
The book represents a concentration of a substantial amount of knowledge acquired in this area - knowledge which was hitherto widely scattered throughout the literature - and thus establishes a baseline reference work for both established and tyro research workers.
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