Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns
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30,90 €
inkl. gesetzl. MwSt.,
Beschreibung
Produktdetails
Einband
Taschenbuch
Erscheinungsdatum
02.07.2015
Abbildungen
2 Farbabb.
Verlag
TUDpressSeitenzahl
124
Maße (L/B/H)
22,5/15,8/0,9 cm
Gewicht
218 g
Auflage
1. Auflage
Sprache
Deutsch
ISBN
978-3-95908-013-2
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