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SiGe Based Technologies

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The preparation of silicon germanium microstructures, their physical, chemical and electrical characterization, and their device processing and application are reviewed in this book. Special emphasis is given to ultrathin Si/Ge superlattices. Topics covered include: Wafer preparation and epitaxial growth;...

Beschreibung

The preparation of silicon germanium microstructures, their physical, chemical and electrical characterization, and their device processing and application are reviewed in this book. Special emphasis is given to ultrathin Si/Ge superlattices. Topics covered include: Wafer preparation and epitaxial growth; surface effects driven phenomena, such as clustering, segregation, 'surfactants'; Analysis, both in situ and ex situ; Strain adjustment methods; High quality buffers; Modification of material properties by quantum wells and superlattices; Devices: Novel concepts, processing, modelling, demonstrators. The questions highlighted, particularly those articles comparing related or competing activities, will provide a wealth of knowledge for all those interested in the future avenues of theory and applications in this field.

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Erscheinungsdatum

18.02.1993
Herausgeber
Verlag Elsevier Science & Techn.
Seitenzahl

289 (Printausgabe)
Sprache

Englisch
EAN

9780444596895
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