Atmospheric Pressure Plasma-Assisted Laser Ablation of Optical Glasses Atmosphärendruckplasma-unterstützte Laserablation optischer Gläser
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Beschreibung
Produktdetails
Einband
Paperback
Erscheinungsdatum
16.10.2014
Verlag
Cuvillier VerlagSeitenzahl
134
Maße (L/B/H)
21/14,8/0,8 cm
Gewicht
184 g
Auflage
1. Auflage
Sprache
Englisch
ISBN
978-3-95404-826-7
For simultaneous plasma-assisted ablation, the laser beam was guided coaxially to an argon plasma beam in order to benefit from plasmaphysical interactions. Due to an additional energy transfer by the plasma during ablation, the ablation rate was notably increased. It was further shown that the plasma beam used for this simultaneous process effects the smoothing of rough optical glass surfaces.
The combination of the investigated approaches thus allows providing a novel integrated plasma-assisted ablation process for the micro structuring of optical devices of high quality.
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