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  • Produktbild: Micro System Technologies 90
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Micro System Technologies 90 1st International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanic Systems and Components Berlin, 10–13 September 1990

99,99 €

inkl. gesetzl. MwSt., Versandkostenfrei

Beschreibung

Produktdetails

Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

04.12.2014

Abbildungen

XV, 858 p.

Herausgeber

Herbert Reichl

Verlag

Springer Berlin

Seitenzahl

858

Maße (L/B/H)

23,5/15,5/4,7 cm

Gewicht

1299 g

Auflage

Softcover reprint of the original 1st edition 1990

Sprache

Englisch

ISBN

978-3-642-45680-0

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Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

04.12.2014

Abbildungen

XV, 858 p.

Herausgeber

Herbert Reichl

Verlag

Springer Berlin

Seitenzahl

858

Maße (L/B/H)

23,5/15,5/4,7 cm

Gewicht

1299 g

Auflage

Softcover reprint of the original 1st edition 1990

Sprache

Englisch

ISBN

978-3-642-45680-0

Herstelleradresse

Springer-Verlag GmbH
Europaplatz 3
69115 Heidelberg
DE

Email: ProductSafety@springernature.com

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  • Produktbild: Micro System Technologies 90
  • Contents: Simulation and Design: Design of Micro Systems.- CAD of Optical Devices.- Simulation and Design - Electrical and Thermal Properties.- Simulation and Design of Sensors.- Measurement and Testing: Testing.- Material Characterization - Physical Properties; Semiconductor Characteristics; Optical Methods.- Materials: Materials for Packaging and Passivation.- Integrated Optics Materials and Technologies.- Technologies: Pattern Generation and Image Transfer.- Laser Supported Deposition.- Reactive Etching and Deposition.- Contact Methods.- Packaging.- Optical Assembly and Interconnection Technologies.- Sensor and Actuator Technologies.- Basic Components and Applications: Sensors for Physical Parameters.- Gas and Ionic Sensors.- Sensors for Biological and Medical Application.- Optical Sensors. Optical Components.- Actuators.- Author Index.