Multi-Wafer Rotating MEMS Machines Turbines, Generators, and Engines
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Sprache:Englisch
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Beschreibung
Produktdetails
Einband
Taschenbuch
Erscheinungsdatum
03.03.2012
Abbildungen
XVI, 302 illus., schwarz-weiss Illustrationen
Herausgeber
Jeffrey LangVerlag
Springer UsSeitenzahl
456
Maße (L/B/H)
23,5/15,5/2,6 cm
Gewicht
718 g
Auflage
2010
Sprache
Englisch
ISBN
978-1-4614-2459-8
The overall objective of the Micro Engine Project was to develop a small but power-dense gas turbine generator based on MEMS fabrication technologies. Thus, the project sought to develop a fuel-burning jet engine that would drive an electric generator to produce electric power for general purpose use. Along the way, the project would advance the science and engineering of many disciplines from the MEMS perspective.
The Micro Engine Project was by its very nature a highly mult-disciplinary project pursuing advances in materials, structures, fabrication, combustion, heat transfer, turbomachinery, bearings and electromechanics, all at the MEMS scale. Many of these topics are addressed in this volume, including:
materials structures and packaging
multi-wafer MEMS fabrication and and bonding technologiesElectroplating magnetic components
electroplating magnetic structures into silicon
very-high-speed air bearings
thermofluids and turbomachinery
electric and magnetic generators
combustion
About The MEMs Reference Shelf:
"The MEMs Reference Shelf is a series devoted to Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMs) which combine mechanical, electrical, optical, or fluidic elements on a common microfabricated substrate to create sensors, actuators, and microsystems. The series, authored by leading MEMs practitioners, strives to provide a framework where basic principles, known methodologies and new applications are integratedin a coherent and consistent manner."
STEPHEN D. SENTURIAMassachusetts Institute of Technology, Professor of Electrical Engineering, Emeritus
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