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Produktbild: Nanolithography and Implications on Circuit Design

Nanolithography and Implications on Circuit Design

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Beschreibung

This book provides a comprehensive and updated "state-of-the-art" compilation on nanolithography and implications on future nanometer IC designs. Its scope in a bottom-up manner, includes the underlying equipment and process issues for nanolithography, the computational lithography aspects, and the key...

Beschreibung

This book provides a comprehensive and updated "state-of-the-art" compilation on nanolithography and implications on future nanometer IC designs. Its scope in a bottom-up manner, includes the underlying equipment and process issues for nanolithography, the computational lithography aspects, and the key design and CAD issues and possible solutions. The subjects covered include: introduction of nanolithography process and trends; computational lithography (including lithography simulations, OPC, inverse lithography, pixilated mask, source mask optimization, etc.); lithography-aware analysis & design; and future lithography technologies and EDA impact.

Produktdetails

Einband

Gebundene Ausgabe
Erscheinungsdatum

01.11.2012
Herausgeber David Z. Pan + weitere
Verlag Springer

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Einband

Gebundene Ausgabe
Erscheinungsdatum

01.11.2012
Herausgeber
Verlag Springer
Seitenzahl

400
Maße (L/B)

23,5/15,5 cm
Sprache

Englisch
ISBN

978-1-4419-6156-3

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