• Produktbild: Praxiswissen Mikrosystemtechnik
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Praxiswissen Mikrosystemtechnik Grundlagen - Technologien - Anwendungen

Aus der Reihe Vieweg Praxiswissen

66,90 €

inkl. gesetzl. MwSt., Versandkostenfrei


Beschreibung

Produktdetails

Einband

Gebundene Ausgabe

Erscheinungsdatum

13.02.2006

Abbildungen

und erw. X, mit 367 Abbildungen 24 cm

Verlag

Vieweg & Teubner

Seitenzahl

494

Maße (L/B/H)

25/17,5/3,3 cm

Gewicht

1049 g

Auflage

2. vollst. überarbeitete und erweiterte Auflage 2006

Sprache

Deutsch

ISBN

978-3-528-03891-5

Beschreibung

Rezension

Zur 2. Auflage:

"[...] auf fast 500 eng gesetzten Seiten wird mit teils aufwändigen, immer anschaulichen Bildern dem Leser profundes Fachwissen vermittelt."

ImpulsE, 1/2006

"Für den fachlich interessierten Leser ist es wohltuend, derart kompetente Aussagen und Bewertungen zu erhalten".

Vakuum in Forschung und Praxis, 04/2006

Zur 1. Auflage:

"Insgesamt ein sehr empfehlenswertes Buch für alle erfahrenen Mikrosystemtechnik-Entwickler, die sich in die Methodik der mathematischen Beschreibung von Mikrosystemen einlesen und einen Überblick über die verschiedenen Verfahren verschaffen wollen. Für den Anfänger ist das Buch allerdings nur bedingt geeignet,da der mathematische Anspruch sehr hoch ist."

ImpulsE 6/01

Produktdetails

Einband

Gebundene Ausgabe

Erscheinungsdatum

13.02.2006

Abbildungen

und erw. X, mit 367 Abbildungen 24 cm

Verlag

Vieweg & Teubner

Seitenzahl

494

Maße (L/B/H)

25/17,5/3,3 cm

Gewicht

1049 g

Auflage

2. vollst. überarbeitete und erweiterte Auflage 2006

Sprache

Deutsch

ISBN

978-3-528-03891-5

Herstelleradresse

Vieweg+Teubner Verlag
Abraham-Lincoln-Straße 46
65189 Wiesbaden
DE

Email: ProductSafety@springernature.com

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  • Aus dem Inhalt:
    - Basistechnologien: Reinraumtechnologie
    - Substrate und Materialien der Mikrosystemtechnik
    - Dünnschichttechnologie
    - Lithographie
    - Planare Mikrostrukturierung
    - Dreidimensionale Mikrostrukturierung
    - Grundstrukturen und Anwendungen
    - Aufbau- und Verbindungstechniken, Konzepte zur Systemintegration
    - Ausgewählte Beispiele komplexer Mikrosysteme
    - Übungen