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Mikrosystemtechnik Konzepte und Anwendungen

46,90 €

inkl. gesetzl. MwSt., Versandkostenfrei

Beschreibung

Produktdetails

Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

17.08.2004

Abbildungen

XII, 292 S.

Verlag

Vieweg & Teubner

Seitenzahl

292

Maße (L/B/H)

24/17/1,7 cm

Gewicht

526 g

Auflage

2., überarbeitete und erg. Auflage 2004

Sprache

Deutsch

ISBN

978-3-519-16256-8

Beschreibung

Rezension

"Das Buch Mikrosystemtechnik nimmt unter den Lehrbüchern einen herausragenden Platz ein."



Physik Journal, 04/2005

Produktdetails

Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

17.08.2004

Abbildungen

XII, 292 S.

Verlag

Vieweg & Teubner

Seitenzahl

292

Maße (L/B/H)

24/17/1,7 cm

Gewicht

526 g

Auflage

2., überarbeitete und erg. Auflage 2004

Sprache

Deutsch

ISBN

978-3-519-16256-8

Herstelleradresse

Vieweg+Teubner Verlag
Abraham-Lincoln-Straße 46
65189 Wiesbaden
DE

Email: ProductSafety@springernature.com

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  • 1 Einführung und Begriffsbestimmung.- 1.1 Begriffsdefinition Mikrosystemtechnik.- 1.2 Wirtschaftliche Bedeutung.- 1.3 Aufgaben zur Lernkontrolle.- 2 Werkstoffe und technologische Grundlagen.- 2.1 Werkstoffe für MikroSysteme.- 2.2 Kristallographische Grundbegriffe.- 2.3 Werkstoffdaten von Silizium.- 2.4 Übersicht über Herstellungsverfahren.- 2.5 Aufgaben zur Lernkontrolle.- 3 Mikromechanische Sensoren.- 3.1 Si-Drucksensoren.- 3.2 Si-Beschleunigungssensoren.- 3.3 Abgeleitete mikromechanische Sensoren.- 4 Aktorik in der Mikrosystemtechnik.- 4.1 Antriebsprinzipien.- 4.2 Realisierungsbeispiele für Mikroaktoren.- 4.3 Fragen zur Lernkontrolle.- 5 Optik in der Mikrosystemtechnik.- 5.1 Integrierte Optik.- 5.2 Diffraktive Optik.- 5.3 Aufgaben zur Lernkontrolle.- 6 Systemtechniken.- 6.1 Integrationstechniken auf Chipebene.- 6.2 Verbindungstechnik auf Wafer- und Chipebene.- 6.3 Gehäusetechnik.- 6.4 Kommunikationsstrukturen innerhalb und zwischen Mikrosystemen.- 6.5 Mikrosystementwurf.- 6.6 Aufgaben zur Lernkontrolle.- A FEM-Simulation (ANSYS) mit gekoppelten Feldern.- A.1 Sensorbeschreibung.- A.2 Eingabedatei für ANSYS.- A.3 Ergebnisse der Simulation.- B Formelzeichen.- Tabellenverzeichnis.- Abbildungsverzeichnis.- Stichwortverzeichnis.